产品介绍
通过制作微图形所需的旋转涂膜工艺形成高品质薄膜
SOH是形成半导体微细图形的辅助材料，要求具有填补缺口、增加平坦度、增强耐腐蚀性的特性。SDI材料部门的SOH是在形成半导体图形的过程中用于新涂覆方式的微细图形形成材料，在形成半导体电路图形时，采用旋转涂覆方式而非传统的蒸镀方式*来形成膜，实现微细线宽的图形准确度。* 蒸镀是什么？将金属加热至高温使之蒸发，利用蒸汽使金属在基材的表面形成薄膜状的方法
产品特征
与原有方式一样利用CVD（化学气相沉积，Chemical Vapor Deposition）工艺形成膜质的方式有未达到图形微细化要求的质量水平的部分，且设备投资负担大。三星SDI SOH是通过旋转涂覆工艺形成膜质，实现高水平的品质改善、生产率提高及投资费用节减的核心材料。
SOH (Spin-on Hardmasks)
高耐腐蚀性
优秀的化学稳定性
以高纯度材料保障高品质
长期保管稳定性
优秀的质量管理
与原有的工艺材料亲和性强
常温保管3个月保持均一的品质
控制极少量的金属及有机不纯物
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