SOD

Spin – on Dielectrics

半导体的晶体管或金属导线之间的绝缘镀膜物质

三星SDI – SOD(Spin – on Dielectrics)

产品介绍

三星SDI – SDO产品
防止漏电的SOD (Spin-on Dielectrics)

防止漏电的SOD (Spin-on Dielectrics)是用于硅薄膜制备工艺的涂覆物质,在半导体的晶体管与晶体管之间起到绝缘作用。硅薄膜制备工艺原先是利用CVD(化学气相沉积,Chemical Vapor Deposition)工艺,但随着图形的微细化,平坦且不出现空隙的旋转涂覆工艺运用本产品,具有提高生产率、节省设备投资费用的效果。* 旋转涂覆工艺 : 将要涂覆的物质滴到基片表面,高速旋转使其薄薄地摊开,覆盖住整个基片的工艺

产品特征

SOD (Spin-on Dielectrics) 优点
优秀的质量管理

控制极少量的金属、氯及有机化合物的含量

高SiO2 置换率

形成高纯度膜,提高客户的生产收率

优秀的Gap-Fill 特性和平坦性 最大限度提高与客户工艺的匹配度

适合多种Etch及Anneal条件的优秀物理性质

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